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B-A 型皮拉尼真空計(大氣壓至超高真空)

簡(jiǎn)要描述:INFICON Bayard-Alpert 皮拉尼復合真空計 BPG400 將 Bayard-Alpert 和皮拉尼兩種真空計的功能融合入單個(gè)緊湊型裝置中,測量范圍為 5×10-10 mbar至大氣壓(3.8×10-10 Torr 至大氣壓)。多項技術(shù)相結合降低了安裝、設置和集成的復雜性。選擇 BPG400 單一經(jīng)濟型封裝,在低成本、可重復的過(guò)程中進(jìn)行基礎壓力測量。

  • 產(chǎn)品型號:BPG400
  • 廠(chǎng)商性質(zhì):代理商
  • 更新時(shí)間:2024-07-16
  • 訪(fǎng)  問(wèn)  量:2581
  • 產(chǎn)品資料:查看pdf文檔

詳細介紹

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BPG400 大氣壓至超高真空計:B-A 型皮拉尼真空計

INFICON Bayard-Alpert 皮拉尼復合真空計 BPG400 將 Bayard-Alpert 和皮拉尼兩種真空計的功能融合入單個(gè)緊湊型裝置中,測量范圍為 5×10-10 mbar至大氣壓(3.8×10-10 Torr 至大氣壓)。多項技術(shù)相結合降低了安裝、設置和集成的復雜性。選擇 BPG400 單一經(jīng)濟型封裝,在低成本、可重復的過(guò)程中進(jìn)行基礎壓力測量。

好處

  • 從 5 x 10-10 mbar 至大氣氣壓(3.8 x 10-10 Torr 至大氣氣壓)的極其寬泛的測量范圍

  • 10-8 ...10-2 mbar 5% 工藝壓力范圍內為表現出優(yōu)秀的重復性

  • 皮拉尼聯(lián)鎖保護 Bayard-Alpert 系統在高壓操作下絲極過(guò)早燒毀和過(guò)度污染

  • 長(cháng)使用壽命氧化釔銥絲

  • 備有可選的圖形顯示器和現場(chǎng)總線(xiàn)接口

  • 高真空皮拉尼自動(dòng)調節,減少操作員的干預

  • 符合 RoHS 標準

  • 低真空至超高真空范圍內的一般真空測量和控制

典型應用

  • 對半導體過(guò)程和傳輸腔室的壓力測量

  • 工業(yè)鍍膜

  • 低真空至超高真空范圍內的一般真空測量和控制










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