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高壓強熱電離皮拉尼真空計

簡(jiǎn)要描述:INFICON 高壓熱電離 Pirani真空計 HPG400 將高壓熱電離技術(shù)與 Pirani 傳感器整合在一個(gè)體積小、價(jià)格低的規管中,可測量 2×10-6 mbar 至大氣氣壓(1.5×10-6 Torr 至大氣氣壓)范圍內的壓力。HPG400 提供高可重復性和再現性壓力測量,實(shí)現精確控制鍍?yōu)R過(guò)程壓力。

  • 產(chǎn)品型號:HPG400
  • 廠(chǎng)商性質(zhì):代理商
  • 更新時(shí)間:2024-07-16
  • 訪(fǎng)  問(wèn)  量:2138
  • 產(chǎn)品資料:查看pdf文檔

詳細介紹

品牌Inficon/英???/td>產(chǎn)地進(jìn)口
加工定制

HPG400 大氣壓到高真空真空計

HPG400高壓強熱電離皮拉尼真空計

INFICON 高壓熱電離 Pirani真空計 HPG400 將高壓熱電離技術(shù)與 Pirani 傳感器整合在一個(gè)體積小、價(jià)格低的規管中,可測量 2×10-6 mbar 至大氣氣壓(1.5×10-6 Torr 至大氣氣壓)范圍內的壓力。HPG400 提供高可重復性和再現性壓力測量,實(shí)現精確控制鍍?yōu)R過(guò)程壓力。


好處

  • HPG400 可節省成本和工具空間,降低真空系統的安裝與設置的復雜性

  • 高壓熱電離可以準確可靠地測量 1 X 10-5 至 1 mbar 范圍內的壓力,進(jìn)而改善過(guò)程控制

  • 用戶(hù)可選的熱電離發(fā)射在 5 X 10-2 至 1 mbar 之間啟動(dòng)

  • 皮拉尼聯(lián)鎖保護絲極,防止過(guò)早燒毀

  • 備有可選的圖形顯示器和現場(chǎng)總線(xiàn)接口

  • 高真空皮拉尼自動(dòng)調節,減少操作員的干預

  • 符合 RoHS 標準

典型應用

  • 半導體制造、電子工業(yè)和媒體工業(yè)中的濺鍍應用

  • 工業(yè)鍍膜

  • 低真空至高真空范圍內的一般真空測量和控制











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