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真空檢漏儀

簡(jiǎn)要描述:The UL6000 Fab是SEMI領(lǐng)域的檢漏儀,精確度、耐用性和可靠性方面的性能超出其他所有設備。這款業(yè)界的檢漏儀可縮減檢測流程耗時(shí),感應操作可幫助SemiFabs的維護保養團隊在最短的時(shí)間內找出泄露面積最小的漏點(diǎn)。

  • 產(chǎn)品型號:UL6000 Fab
  • 廠(chǎng)商性質(zhì):代理商
  • 更新時(shí)間:2024-07-08
  • 訪(fǎng)  問(wèn)  量:1132
  • 產(chǎn)品資料:查看pdf文檔

詳細介紹

品牌Inficon/英???/td>產(chǎn)地進(jìn)口
加工定制

UL6000 Fab真空檢漏儀

The UL6000 FabSEMI領(lǐng)域的檢漏儀,精確度、耐 用性和可靠性方面的性能超出其他所有設備。這款業(yè)界的檢漏儀可縮減檢測流程耗時(shí),感應操作可幫助Semi Fabs的維護保養團隊在最短的時(shí)間內找出泄露面積最小的 漏點(diǎn)。憑借著(zhù)36 l/s的氦抽速率,UL6000 Fab的性能至少比 市面上的任何其他檢漏儀優(yōu)化50%。響應時(shí)間更快,基本 性能可使任何Semi Fabs維護保養團隊取勝。設備能夠更快 地顯示泄露,因此更容易找到小面積漏點(diǎn),可靠性超過(guò)以 往任何設備。另外,本底氣的濃度下降速度快得多,所以 可通過(guò)噴射氮氣更快地檢測下一個(gè)泄露檢查點(diǎn)的密封性, 使用戶(hù)能夠在明顯更短的時(shí)間內完成所有檢測點(diǎn)的操作。 考慮到大多數泄露涉及多個(gè)(多大數百個(gè))泄露檢查點(diǎn),這 款檢漏儀縮短了代價(jià)高昂的采樣探頭停機時(shí)間,另外還能 提高生產(chǎn)力??偟膩?lái)說(shuō),維護減少可縮短停機時(shí)間,提高 生產(chǎn)力,進(jìn)而降低成本,同時(shí)減少Semi Fabs對環(huán)境造成的 影響。

優(yōu)勢 • 創(chuàng )新型增壓泵 快速且精確,縮短了響應時(shí)間,提高了氦氣清除速率,尤其適用于大量氦氣。 • 真 kongqian級泵 抽空時(shí)間快,非常耐用,維護量極低,能夠承受水蒸氣壓。 • 系統耐用 極耐受排氣沖擊的影響;僅需要很少的維護。 I·CAL 采用節省時(shí)間的軟件算法:將噪音將到較低水平,不忽略細節,例如輕微振蕩。 I·ZERO 2.0INFICON專(zhuān)有技術(shù) 氦氣本底濃度低,檢測時(shí)間最短;能夠可靠地檢測出最小泄露面積的漏點(diǎn)。 • 大漏檢測模式:INFICON專(zhuān)有技術(shù) 從大氣壓開(kāi)始進(jìn)行泄露檢測;噴射法也可以進(jìn)行大規模檢漏。 HYDRO·SINFICON專(zhuān)有技術(shù) 刪除信號中的含水量數據,在檢測的開(kāi)始迅速達到低本底濃度水平。 I·CHECK 測量周?chē)諝庵械暮鉂舛?,確保測量條件適當。

應用 • 半導體制造 • 平面屏幕制造 • 太陽(yáng)能電池制造 • 航空航天。

真空檢漏儀

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