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科銳詩(shī)汀給你分享英??礐DG系列薄膜規使用的經(jīng)驗

更新時(shí)間:2024-06-07      點(diǎn)擊次數:175

科銳詩(shī)汀給你分享英???/span>CDG系列薄膜規使用的經(jīng)驗

一:

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如果初次使用CDG型薄膜型真空計時(shí),在相同的腔體環(huán)境中,發(fā)現真空計的壓力顯示不一致。進(jìn)行以下排查

1. 排查腔體的實(shí)時(shí)壓力是否滿(mǎn)足真空計的工作壓力要求。

2. 排查真空計的安裝方向是否符合制造商的規定(出廠(chǎng)時(shí)默認為垂直安裝,如改為水平安裝,需重新標定)。

3. 排查相關(guān)氣路的氣密性,判斷是否存在漏氣現象。

4. 排查腔體環(huán)境是否存在可能干擾設備正常工作的腐蝕性氣體。

5. 排查腔體內部壓力是否真的存在不一致現象。

6. 排查真空計本身是否存在故障。

 

二、

1、CDG系列薄膜規在購買(mǎi)前需要特別注意其量程范圍,真空計本身最大檢測量級為滿(mǎn)量程向下4個(gè)數量級,建議檢測壓力為滿(mǎn)量程向下2.5個(gè)數量級。(例如滿(mǎn)量程為1000Torr的薄膜規,則建議在5~1000Torr的范圍下使用)。

2、CDG系列薄膜規在出廠(chǎng)時(shí),真空計默認為垂直向上方向校準。薄膜規的工作原理是壓力使膜片變形,變形量與壓力大小成比例關(guān)系。因為電容膜片本身存在重量的影響,所以真空計在安裝方向上不同,膜片本身的形變也會(huì )變化,最后導致壓力顯示的結果出現偏差。所以非垂直向上安裝,需要對真空計進(jìn)行重新校準再使用。

 

以上資料參考文章有英??迪嚓P(guān)資料和衛是電子相關(guān)資料!


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